精密清洗是指当工业设备表面受到物理、化学或生物的作用形成污染层或覆盖层时，去除这些污染物或覆盖物使其恢复原来表面状态。精密清洗具有节能、降耗、延长设备使用寿命、降低环境污染等作用。

精密清洗成为精密加工行业的重要一环，主要原因有两点：

精密器件多结构复杂、含多孔隙或窄缝、表面含有多种类型的污垢，对于这类材料的清洗往往要很强的渗透性，处理起来对于清洗设备的要求极高，需要极为精细的技术。

此类产品多为新材料制作，在清晰的同时要注重对于工件的保护，不可使用毒性大、腐蚀性强的清洗溶剂，以免对工件造成不可挽回的污染损坏。

精密清洗中洁净度要求更高，所以对不同洁净度要求的清洗应选择不同的清洗系统。 但是应考虑到，洁净度要求越高，清洗成本也越高，而且生产成本是以几何级数递增的，一般洁净度为98%时的成本要比洁净度为95%时的成本高几倍，而要求洁净度提高到99.9%时成本要提高10倍以上，难度可想而知。

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